120k ultrasonik photoresist semprotan lapisan mesin dengan eksternal pasokan cairan

120k ultrasonik photoresist semprotan lapisan mesin dengan eksternal pasokan cairan

Penyemprotan atomisasi fotoresist adalah proses inti dalam manufaktur semikonduktor untuk lapisan fotoresist yang tepat.Prinsip utamanya adalah mengubah photoresist menjadi tetesan kecil melalui teknologi atomisasi, yang kemudian disimpan secara merata di permukaan wafer, memenuhi persyaratan pelapis wafer ukuran besar dengan presisi tinggi.

Prinsip Inti: Photoresist cair di atomisasi menjadi tetesan seragam pada skala nanometer hingga mikrometer menggunakan aliran gas bertekanan tinggi atau getaran ultrasonik.

Titik-titik yang teratomisasi kemudian diangkut oleh aliran gas arah, membentuk lapisan tipis dan seragam pada permukaan wafer, dengan ketebalan yang dikontrol dengan tepat pada tingkat nanometer.

Keuntungan Utama: Keseragaman pelapis yang tinggi, menghindari cacat tebal tepi dan tipis pusat pelapis putar, memenuhi persyaratan proses canggih.

Penggunaan fotoresist tinggi, mengurangi limbah material lebih dari 50% dibandingkan dengan lapisan spin, menurunkan biaya produksi.

Cocok untuk wafer ukuran besar (misalnya, 12 inci dan di atas) dan topografi permukaan yang kompleks, menghasilkan konsistensi lapisan yang lebih kuat.

Apa parameter dari nozzle semprotan?

Apa kau punya gambar nozel semprotan?

Ultrasonik nano-atomisasi menggunakan energi ultrasonik untuk mengubah cairan menjadi partikel berukuran nano.Berikut adalah deskripsi rinci:

Prinsip
Dalam bidang medis: Generator ultrasonik biasanya menghasilkan arus frekuensi tinggi, yang diubah menjadi gelombang ultrasonik oleh transduser ultrasonik.Arus ini kemudian bertindak pada cairan melalui membran ultrasonik di bagian bawah atomizer, memecah obat menjadi partikel halus. Akhirnya, aliran udara yang dihasilkan oleh perangkat pasokan udara memberikan kabut obat kepada pasien untuk dihirup.
Dalam bidang industri: Sebuah nozel ultrasonik mengubah gelombang suara frekuensi tinggi menjadi energi mekanik, yang ditransfer ke cairan, menghasilkan gelombang statis.Cairan kemudian diarahkan melalui muncung ke permukaan atomisasiSetelah keluar dari permukaan atomisasi, cairan dipecah menjadi kabut seragam tetesan berukuran mikron, sehingga mencapai atomisasi.

Fitur
Partikel halus dan seragam: Partikel teratomisasi yang dihasilkan biasanya berkisar diameter dari 1 hingga 5 mikron, tetap tersuspensi di udara untuk jangka waktu yang lama, dan relatif merata didistribusikan.Dalam bidang medisDalam bidang industri, dapat mencapai lapisan film tipis submikron dan skala nano yang sangat seragam.Efisiensi Tinggi dan Penghematan Energi: Cairan ditransfer ke nozzle semprot dengan gravitasi atau pompa tekanan rendah, mencapai atomisasi terus menerus atau intermiten.dan tidak memiliki bagian yang bergerakTidak ada air pendingin yang dibutuhkan untuk atomisasi, sehingga konsumsi energi rendah.

Bahan dan Ramah Lingkungan: Semprotan tanpa tekanan, kecepatan rendah mudah dikendalikan, dan tetes mendarat di substrat daripada memantul dari itu, secara signifikan mengurangi overspray,menghemat bahan yang signifikan dan mengurangi emisi lingkungan.

Kontrol Tinggi: Aliran atomisasi yang dapat dikontrol dengan tepat, semprotan terus menerus aliran rendah, dan pola semprotan yang mudah dikontrol dan dibentuk membuatnya cocok untuk aplikasi industri.Melalui kombinasi, volume atomisasi dapat disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan pengguna.
Medis: Misalnya, perangkat atomisasi ultrasonik oftalmik menggunakan teknologi ini untuk memecah obat menjadi partikel atomisasi berukuran nano untuk pengobatan mata kering dan blefaritis.Teknologi ini mendorong penyerapan, meringankan gejala mata kering, dan meningkatkan sirkulasi mikro periokular.Teknologi atomisasi ultrasonik dengan bantuan nanobubble dapat secara langsung mengatomikan obat-obatan dan nanobubble menjadi aerosol halus, meningkatkan deposisi di paru-paru dan digunakan untuk mengobati kondisi seperti kista paru-paru.

Industri: Aplikasi termasuk sel bahan bakar, sel fotovoltaik film tipis, lapisan surya film tipis, sel surya perovskit, lapisan grafen, lapisan kaca, dan sirkuit elektronik,memungkinkan lapisan film tipis submikron dan nanometer yang sangat seragam.

Penghijauan: Di taman lansekap dan ruang komersial, modul atomisasi ultrasonik dapat menciptakan efek kabut yang tertutup, meningkatkan kelembaban udara dan meningkatkan iklim dalam ruangan.Mereka juga dapat dikombinasikan dengan efek cahaya untuk menciptakan spektakuler, perubahan warna bayangan spektakuler.

Bagaimana nozel semprot ultrasonik dibandingkan dengan nozel semprot tradisional dalam hal efisiensi?
Nozzle semprotan ultrasonik mengungguli nozzle semprotan tradisional dalam efisiensi keseluruhan, terutama untuk skenario pelapis presisi tinggi seperti aplikasi fotoresist.

Keuntungan Efisiensi Utama dari Nozzle Semprot Ultrasonik

Penggunaan bahan yang lebih tinggi: Mereka mengatomkan photoresist menjadi micro/nanodroplet berukuran seragam, mengurangi limbah sebesar 30~60% dibandingkan dengan nozel tradisional (misalnya,jenis yang didorong tekanan) yang sering menghasilkan tetesan yang tidak merata atau overspray.
Persamaan lapisan yang unggul: Getaran ultrasonik memungkinkan distribusi tetes yang konsisten, meminimalkan variasi ketebalan (biasanya dalam ± 5% vs ± 10 ~ 15% untuk nozel tradisional),yang mengurangi pengolahan ulang dan meningkatkan hasil proses.
Konsumsi energi yang lebih rendah: Atomisasi ultrasonik bergantung pada getaran frekuensi tinggi daripada tekanan tinggi atau aliran udara, mengurangi penggunaan energi sebesar 20 ~ 40% sambil mempertahankan kinerja semprotan.

Keterbatasan terhadap Nozzle Tradisional

Aplikasi yang lebih sempit untuk bahan viskositas tinggi: Nozzle tekanan tradisional menangani cairan yang lebih tebal lebih efektif, sedangkan jenis ultrasonik bekerja dengan baik dengan photoresist viskositas rendah hingga menengah.
Biaya awal yang lebih tinggi: Nozzle ultrasonik memiliki investasi awal yang lebih tinggi, meskipun ini diimbangi oleh penghematan bahan dan energi jangka panjang dalam produksi massal.

Nozzle semprotan ultrasonik menawarkan beberapa keuntungan dibandingkan nozzle semprotan tradisional dalam hal efisiensi.

1. Efisiensi Atomisasi: Nozzle semprotan ultrasonik sangat efisien dalam mengatomikan cairan menjadi tetesan halus.

2. Mengurangi Overspray: Nozzle semprot tradisional sering menghasilkan jumlah yang signifikan dari overspray, yang mengacu pada kehilangan cairan yang tidak mencapai target yang dimaksudkan.

3. Kualitas Lapisan: Nozzle semprotan ultrasonik sangat menguntungkan dalam aplikasi di mana lapisan berkualitas tinggi diperlukan.

4. Penghematan bahan: Karena atomisasi yang efisien dan lebih sedikit penyemprotan, nozel semprotan ultrasonik dapat membantu menghemat biaya bahan.

5. Serbaguna: Muncung semprot ultrasonik dapat menangani berbagai jenis cairan, termasuk larutan berbasis air, pelarut, suspensi, dan cairan viskos.

Perlu dicatat bahwa nozel semprotan tradisional memiliki keuntungannya sendiri dalam skenario tertentu, seperti aplikasi aliran tinggi atau situasi di mana tetes yang lebih besar diinginkan.Pilihan antara nozzle semprotan ultrasonik dan nozzle semprotan tradisional tergantung pada persyaratan khusus dari aplikasi dan hasil yang diinginkan dalam hal efisiensi, kualitas pelapis, dan penghematan bahan.

Bisakah Anda memberikan contoh industri atau aplikasi di mana nozel semprot ultrasonik umumnya digunakan?

 

Sistem penyemprotan ultrasonik
Peralatan penyemprotan ultrasonik memiliki pembersih diri, yang dapat menghindari polusi dinding dalam tabung pengumpulan darah selama proses penyemprotan,dan juga dapat menghindari kontaminasi dari nozzle sendiriSistem penyemprotan ultrasonik dapat memprogram jumlah, jarak, ketebalan dan parameter penyemprotan lainnya.sehingga memastikan akurasi efek penyemprotanPeralatan penyemprotan ultrasonik dapat menghemat bahan baku, dan tingkat pemanfaatan bahan baku setinggi 85%.Atomizer ultrasonik industri dapat dengan mudah dipasang ke dalam jalur produksi yang ada untuk penyemprotan yang efisien dengan output kualitas yang konsisten.

Sebagai teknologi yang terbukti secara industri,penyemprotan ultrasonik telah berhasil diterapkan pada kinerja tinggi garis pelapis film tipis dalam pembuatan elektronik presisi seperti semikonduktor, perangkat presisi, aplikasi nanoteknologi, sel bahan bakar dan sel surya.menghasilkan partikel dengan luas permukaan yang tinggi.

Bisakah Anda memberikan video kerja dari nozzle semprotan?